描述
製造商: Ulvac
型號:IH-860DSIC
Wafer size: 4″
S/N: MA09-1026-0
Vintage: 2010
Equipment size: * 本体約8300x3300(+扉開けると650)mm
* 除外装置2950x850(扉開けると1400)mm
Configuration: * ESC温度確認(A系高温とB系常温) A:500℃ B:24℃
* 能量範圍:1價→350kev、2價→700keV 可對應 double /triple Charge
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