描述
Vintage unknown
OLYMPUS Auto Loader
Model (Auto Loader) AL100-L6
Sample Size Dia. 150mm
Cassette Port 1 port
Auto wafer alignment
Adjustable wafer flat edge
Adjustable wafer back
Program editing
Status: Power-on test
Olympus AL100 L6 /LB6 Wafer Loader
Olympus AL100
晶圓尺寸：4至6英寸
晶圓轉移與真空吸盤自動轉移
非接觸式預對準
方向平坦/缺口檢測:指定檢查前後的晶片角度
帶有真空吸盤的專用載物台
真空度：壓力600mm Hg（80kPa）
電源：AC 100V ~ 120V
