Bruker

Bruker Nano, Inc.致力於半導體先進奈米光罩之設備。其相關產品包含Rhazer，一種在晶圓生產過程中前期預防，中、後期清理Haze之解決方案。
Merlin是一款奈米修復設備，提供先進光罩需要之精密修復設備。fp-III，飛秒脈衝及可穿透薄膜精密修復設備。

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