描述
製造商: Ulvac
型號:SOPHI-200
S/N: MI05-1002-0
Wafer size: 6″
Vintage: 2006
Configuration: * 劑量範圍（實際劑量：1010～1014 ions/cm2）、束流電流（～500μA）。
* 吞吐量：100枚/h以上（6in）
Ulvac SOPHI-200 Ion Implanter
製造商: Ulvac
型號:SOPHI-200
S/N: MI05-1002-0
Wafer size: 6″
Vintage: 2006
Configuration: * 劑量範圍（實際劑量：1010～1014 ions/cm2）、束流電流（～500μA）。
* 吞吐量：100枚/h以上（6in）
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