Ulvac IH-860DSIC Ion Implanter

製造商: Ulvac
型號:IH-860DSIC
Wafer size: 4″
S/N: MA09-1026-0
Vintage: 2010
Equipment size: * 本体約8300ｘ3300（＋扉開けると650）mm
* 除外装置2950ｘ850（扉開けると1400）mm
Configuration: * ESC温度確認（A系高温とB系常温）　Ａ：500℃　　Ｂ：24℃
* 能量範圍：1價→350kev、2價→700keV 可對應 double /triple Charge

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分類: Implanter, 半導體設備標籤: implanter, Ulvac IH-860DSIC, 半導體

描述
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製造商: Ulvac
型號:IH-860DSIC
Wafer size: 4″
S/N: MA09-1026-0
Vintage: 2010
Equipment size: * 本体約8300ｘ3300（＋扉開けると650）mm
* 除外装置2950ｘ850（扉開けると1400）mm
Configuration: * ESC温度確認（A系高温とB系常温）　Ａ：500℃　　Ｂ：24℃
* 能量範圍：1價→350kev、2價→700keV 可對應 double /triple Charge

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