無塵室經常使用美國聯邦S209E標準及ISO 14644-1標準所規範的
每立方英呎或每立方米最高可容許粒子數目來決定潔淨度級數。
無塵室主要針對控制空氣中之微粒所建造的特殊封閉性建築。一般而言無塵室也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範。
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